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STORM 5000 掩模缺陷检验测试设备通过商用验收!

11月24日,苏大维格300331)股东会通过了收购常州维普半导体设备有限公司议案。 ...
来源:竞技宝官网测速站网址    发布时间:2025-12-21 20:24:54
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  11月24日,苏大维格300331)股东会通过了收购常州维普半导体设备有限公司议案。

  近日,维普半导体交出本年度一份圆满的成绩单,新一代STORM 5000掩模缺陷检验测试设备顺利通过国内某头部客户商用验收!下一台STORM 5000设备目前已完成出厂前测试,将于本月底前交付国内另一关键客户。

  STORM 5000是维普推出的第4代掩模图形缺陷检验测试设备,基于STORM 3000的技术积累及成功经验,经过近3年的迭代研发,STORM 5000在光学成像、算法、算力等方面逐步提升,可满足更高制程的Mask制造。支持PSM、Binary掩模检测,适配ArF与KrF对应的技术节点,产品关键指标达预期,具备相关进口设备的替代能力。

  维普上一代光掩模缺陷检验测试成熟机型-STORM 3000,自2022年推出以来,持续获得国内外主流厂商的重复订单。截至目前,STORM系列已实现销售订单近70套,主要客户包括:上海中芯国际、迪思微、中微掩模、路维光电、路芯半导体、清溢光电、龙图光罩、睿晶半导体等国内客户,以及Photronics、Tekscend Photomask(隶属于凸版印刷集团Toppan Holdings)等国际头部客户。2025年,STORM 3000产品在软件算法上持续升级,新推出SDB、结合传统的DB、DD、SL 4种模式的灵活应用逐步提升STORM 3000机台的检验测试能力。随市场份额不断提升,STORM 3000配套的服务、交付能力也逐步提升,从设备搬入至试运行时间缩短至15-20天,产品稳定性和性能指标广受客户好评。

  STORM 3000通过了头部客户的严苛考验,自2025年Q4开始,维普面向头部客户的海外站点开始批量化交付,已成为其检测设备供应商中的重要合作伙伴。



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